型號    V1000/1000X/1000XS特點

• 硅晶圓的灰化及蝕刻。
• 基板表面污垢處理。
• IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。
• 半導體相關部品的電子材料的干式清洗。
• 自然氧化膜·有機物去除。
• 界面活性處理。
• 表面污染物去除。
• 
  
• 備注：雅馬拓科學V1000，雅馬拓科學V1000X，雅馬拓科學V1000XS，雅馬拓科學等離子清洗機，等離子清洗機V1000，等離子清洗機V1000X，等離子清洗機V1000XS

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